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纤尘不染造出“中国屏”
2018-10-21 10:31:45 来源: 科技日报
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  工人正在厂房内进行洁净度测试 受访单位供图

  为应对“缺芯少屏”现状,“中国屏”厂房正紧急施工建设。近日,中建一局集团建设发展有限公司承建的广州超视堺10.5代TFT-LCD显示器生产线厂房的“心脏”——洁净区开工。

  “我们承建的洁净区是该显示器生产线的五个核心洁净区之一,总面积约9.3万平方米,相当于12.6个标准足球场大小,而其洁净度要求是医院ICU洁净病房的10倍以上。因为生产屏幕的核心设备必须在洁净环境下工作,否则无法批量产出合格产品。”广州超视堺洁净区项目经理宋超表示,公司作为“新中国第一支建筑国家队”,此前建造了35座“中国液晶屏”和“中国柔性屏”等超级厂房,见证了中国半导体行业的崛起。而这次中标承建的高标准洁净区,在工期、设计、维管、调试上均堪称史上最严标准。

  据悉,广州超视堺10.5代TFT-LCD显示器生产线厂房是目前全球体量和投资额最大的高科技厂房项目,也是广州改革开放以来单笔投资最大的先进制造业项目。厂房投产后主要生产8K超高清、全球最大尺寸176寸的中国制造液晶面板。中建一局承建的切割与偏贴厂房洁净区将历时4个月,预计2019年1月竣工建成。

  在非洁净的环境下生产的半导体工业产品合格率仅为10%—15%左右。宋超介绍,显示屏生产线厂房项目总建筑面积178万平方米,5个核心厂房均各设一个洁净区,中建一局负责的切割与偏贴厂房洁净区最高洁净度要求为1000级,即要求洁净区域内每立方英尺存在0.5μm的微尘粒子不能超过1000颗。建成后,屏幕生产所用的切割片、涂色和背光板组装等系列设备将安放在此。而屏幕生产的最核心设备曝光机所在的阵列厂房洁净区对洁净等级要求为100级甚至10级。此外,生产线车间对空气洁净度、温度、湿度、防静电、微振、光照度、噪声等都有严格的参数要求。

  中建一局集团建设发展有限公司高科技电子厂房第一事业部总经理赵海涛表示,“洁净建造”是整个厂房建造中最难的部分,而洁净管控是“洁净建造”中的最大难题,需要确保在建造过程中实现封尘、去尘、不产尘、不进尘。

  宋超解释,洁净区建设过程中,首先使用抗静电的防火墙密封隔离,“天”“地”“柱”要经过打磨、涂刷多层环氧树脂漆全部封尘。然后安装全新通风机组进行正压送风,形成洁净区内的正压环境,外部微尘无法进入,并将室内微尘颗粒吹出洁净区域。在建造过程中对洁净区进行不间断的清洁,分阶段进行深度大保洁,为保证洁净度的形成及保持,在一个5000平方米的千级洁净区内的空气就需要经600多台高效过滤器以每小时50—60次的频率进行循环过滤。在洁净区的施工阶段需进行全过程洁净管理,确保高科技电子厂房核心区域的“洁净建造”。

  “不同于其他厂房建设,所有进入洁净室的施工人员都要穿着洁净服,进入前需在更衣室吹掉灰尘,随时随地有专业人员打扫擦拭。洁净区建成后还要擦拭两遍,竣工前经十余项检测通过后才可搬入生产设备。” 宋超透露,目前施工区域正在进行第一阶段分层级地面打磨环氧和水电风管道安装工作。“地面如果高低不平,会产生大量灰尘微粒积压,一个细小的微粒会直接导致产品报废,特别是洁净区域对平整度的要求近乎苛刻,1平方米内地面高差最多2毫米。”宋超说。(唐芳)

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